仪器设备

发布日期：2021-04-20

实验室现有基础设备74台（套），其中超过万元以上的设备74台(套），总价值约4451.8万元。其中用于精密制造技术人才培训的实验实训室原有设备35台（套），价值837.2万元。其中部分设备为国外先进仪器，有的是与国内著名大学和科研机构联合研制的，有些是根据科研和人才培养的需要独立研制的。这些仪器设备大大改善了实验室硬件条件，为将中心建成国内精密制造与检测技术重要研发基地奠定了坚实基础。

1．精密制造设备

精密超精密加工装备：主要包括自行研制的系列精密制造装备样机及用于工艺试验、零部件加工的精密、超精密加工装备。

1）408S2五轴精密加工中心

设备简介：408S2的加工中心配备高精度，旋转的双分频器。其紧凑的尺寸，其显著的静态和动态刚度使它成为一个领先的五轴加工中心。408S2立式主轴加工中心配高动态直驱式双回转分度头,适合高精度复杂零件加工,多面体零件边长不超过80mm。最新一代408S2加工中心非常适合下述新兴行业:钟表/珠宝业，医疗/牙科，航空/航天，该机床适合加工高精度、高表面质量要求的复杂零件。

图 五轴精密加工中心

2）VF2SS立式加工中心

设备简介：VF2SS立式加工中心由美国哈斯研发，是指主轴轴线与工作台垂直设置的加工中心，主要适用于加工板类、盘类、模具及小型壳体类复杂零件。立式加工中心能够完成铣削、镗削、钻削、攻螺纹和用切削螺纹等工序。

图 立式加工中心

3）FTC-350全功能数控车床

设备简介：FTC-350由台湾友嘉研发，数控车床是目前使用较为广泛的数控机床之一。它主要用于轴类零件或盘类零件的内外圆柱面、任意锥角的内外圆锥面、复杂回转内外曲面和圆柱、圆锥螺纹等切削加工，并能进行切槽、钻孔、扩孔、铰孔及镗孔等。

图 FTC-350全功能数控车床

4）ORBIT36精密曲线磨床

设备简介：ORBIT36是保宁琼格有限责任公司完全最新研发的产品。主要应用行业为模具、电子封装、航空航天、精密量具夹具、液压以及精密机械。

图 精密曲线磨床

5）SARIX微细电火花加工机床

设备简介：瑞士微细超精密电火花机床，可以加工微细件和微孔的专用微细放电加工设备，最多可以实现7轴加工，可加工复杂的微细零件或微细结构；将高频电源集成在Z轴上，最大限度地减少分布电容对高频放电的影响；采用具特殊设计的超高频智能电源以及采用新的脉冲调制和控制方法，使电参数可以依放电状态进行自动调整，从而提高加工效率，改善加工质量；独特的微细电极在线制备技术，最小可以在线预制直径0.005mm微细电极;高压冲流技术改善了排削效果等。

图 微细电加工机床

6）HA400U数控伺服系统中走丝机床

仪器简介：电火花线切割机床采用电极丝（钼丝，钨钼丝等）作为工具电极，在脉冲电源作用下，工具电极和加工工件之间形成火花放电，火花通道瞬间产生大量的热，使得工件表面熔化甚至气化。线切割机床通过X-Y拖板和U-V拖板的运动，使电极丝沿着预定的轨迹运动，从而达到加工工件的目的。

图 HA400U数控伺服系统中走丝机床

7）AQ550Ls高性能电火花线切割机

设备简介：电火花线切割机（Wire Electrical Discharge Machining简称WEDM），属电加工范畴，是由前苏联拉扎联科夫妇研究开关触点受火花放电腐蚀损坏的现象和原因时，发现电火花的瞬时高温可以使局部的金属熔化、氧化而被腐蚀掉，从而开创和发明了电火花加工方法。

图 微细加工线切割机床

8）CUT 2000 X-treme超精密慢走丝线切割机床

设备简介：CUT 2000 X-treme产自瑞士阿奇夏米尔集团，以其高精度和无与伦比的生产力成为市场上整体加工速度最快的高端线切割机床，其5位导丝系统具有独特、精密的性能，且适应范围广。新的可选的穿丝专家系统使困难条件下的穿丝变得简单。穿丝专家系统是可伸缩式装置，驱动丝从上导丝器到起始孔的上平面，可根据丝径的不同，通过一个精密的管子，把丝导到下导丝嘴。结果是：从简单的到最复杂条件的穿丝条件下都能穿丝成功。GF加工方案的开创性的自动双丝切换模块目前依然是线切割机床领域独有的特征。AWC模块开辟了更多灵活性和过程控制的新道路，这是由于它可以使用不同丝径和不同丝材料进行加工。例如：粗加工可以使用包锌丝或者大直径丝以提高加工效率，然后自动切换到标准丝径进行精加工以降低运行成本。配备了VISION 5控制系统，功能强大，方便进行一系列无人加工工件的安排和管理。

图 CUT 2000 X-treme超精密慢走丝线切割机床

9）CUT E 350精密数控慢走丝切割机床，

设备简介：CUT E 350产自瑞士阿奇夏米尔集团，拥有T型结构设计，升降门式工作液槽。最新的ACCUT HMI操作系统, 简单易学。高效的IPG数字脉冲电源，可靠的高切割性能其内置全面的加工工艺参数，使用户能合理简化任务设置;提高加工速度、改表面质量、保护贵重工件，确保整个加工过程安全可靠。还有操作方便的自动丝功能，和内置的防碰撞保护ICP功能，使X、Y和Z轴上可以在碰撞的情况下保护机床。

图 CUT E 350超精密慢走丝线切割机床

10）PEM 800S高精密电化学减材设备

设备简介：PEM 800S由法国PEM TEC公司研发，机身大部分由天然花岗岩建造，具有中心直驱的高刚性高精度工作轴，配备1200A至12,000A的水冷模块化发电机通过PEM Tec开发的触摸屏操作员界面实现输入和控制，系统具有动态且可单独编程的过程配置文件，并且可以实时进行短路检测。它功能更强大，更快，更精确，配有自动电解液处理系统。随着重量的增加和脉冲频率的提高，机器可以去除更多的材料。这使得它可以在更短的时间内生产大量的工件。因此，批量生产变得更加经济

图 PEM 800S高精密电化学减材设备

11）508 MT2 6轴多工序车铣复合加工中心

设备简介：508 MT2加工中心由瑞士威力铭-马科戴尔公司研发，具有超高加工精度精度且无可比拟的柔性，通过一次装夹加工循环内完成复杂零件的六面体的加工。所采用的摆动式高性能电主轴尤为适合高需求的加工应用。高精度卧式轴/分度头具有双重功能,低速运转时犹如一分度头,而高速运转时即是一个车削主轴。高强度的铸铁床身,带加强筋板,进一步保证了机床的最佳动态和静态刚性。为降低结构热胀,采用隔离钢板将机床的机械区域与加工区域彻底分开。

图 508 MT2 6轴多工序车铣复合加工中心

12）LT MMC 600H超精密数控铣削中心

设备简介：MMC H（微铣中心静压）系列机床由瑞士LT公司研发，是根据微型、超精密多轴加工需求开发的。为了在多轴加工的刚性和阻尼方面创造理想的条件，该系列配备了静压（油）轴承。通过使用金刚石刀具可以实现晶体、有色金属和塑料等多种材料的光学表面加工，即使具有复杂的几何形状。基本设置由3个线性轴组成，可通过额外的旋转轴、倾斜轴或主轴升级到 4、5 或 6 轴。附件模块，例如不同的主轴，真空吸盘，工件托盘系统，用于工件测量的3D按钮，以及具有自动刀具测量功能的自动换刀装置，都可以使机床得到有效利用。

图 MMC 600H超精密数控铣削中心

13）+GF+ Mikron MILL P 900精密三轴加工中心

设备简介：由瑞士阿奇夏米尔集团研发的MILL P 900立式三轴铣削中心在市场上具有广泛的应用，且其生产力和效率等方面已得到模具制造业和精密零件生产商的一致好评。其坚固的龙门结构具有很高的动态刚度，是专为制造最佳表面质量以及极高的定位和轮廓精度的模具而设计，可以轻松地通过宽大的前门轻松装载高达1,000公斤的工件，此外从背面到门架的集成自动化系统以及最大80公斤的负载能力，MILL P 900具有对称的机架设计，聚合物混凝土结构以及集成的冷却管理功能，包括通过机座和智能热控制（ITC）进行水冷却，可提供全天候的高热稳定性。

图 Mikron精密三轴加工中心

2．精密传感与测试仪器

精密传感与测试装备：主要包括自行研制的系列精密传感与测试装备样机及用于精密制造过程监测、零件尺寸、微观形貌、性能等测试与评价仪器装备等。

1）纳米轮廓仪

仪器简介：纳米轮廓仪是指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。纳米轮廓仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统（如光栅尺）经数据处理器或计算机等计算出工件的各点（x，y，z）及各项功能测量的仪器”。纳米轮廓仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。

图 纳米轮廓仪

2）激光共聚焦显微镜（LSM700）

仪器简介：激光共聚焦显微镜（LSM700）获得样品形貌的大景深图像。在荧光模式中，LSM700还能获得有关样品性能和结构的附加信息。例如发现样品中的结构瑕疵或标记相位分离等。荧光染料因其可视化特点被广泛应用。

图 激光共聚焦显微镜

3）MarSurf LD 120表面粗糙度轮廓测量仪

仪器简介：表面粗糙度测量仪是评定零件表面质量的台式粗糙度仪。可对多种零件表面的粗糙度进行测量，包括平面、斜面、外圆柱面，内孔表面，深槽表面及轴承滚道等，实现了表面粗糙度的多功能精密测量。

图 MarSurf LD 120表面粗糙度轮廓测量仪

4）Mahr MMQ 200圆跳测量仪

仪器简介：手动调心调平，计算机辅助功能强，使用方便；可以CNC编程后自动测量，测量速度很快，效率很高；可以从任意位置开始测量，在任意位置结束测量；小回转角0.1°，对非整圆的测量非常适合，小非完整圆圆弧对应的夹角为15°；具有3个特有的功能键，一次可将三种零件编程后置于PI/P2/P3三个功能键中，每次测量只要按某个功能键就可自动完成测量。

图 圆跳测量仪

5）PCO.dimax HS超高速相机仪器

仪器简介：PCO.dimax HS是德国PCO公司生产的最新一代产品，它具有超高的感光度，超高像素的图像传输器，面向测试和测量领域，显微高速成像而开发制造。

图 超高速相机

6）CSM纳米压痕仪

仪器简介：瑞士仪器公司的UNHT型超纳米压痕仪在满足常规纳米压入测试需求的基础上，更为对低热漂移、小载荷压入与高精度位移测量与控制等有较高需求的用户设计制造。它拥有专利的主动参比测量系统及多电容传感器以监控压入载荷和压入深度，并实时消除噪声和热漂移等微小误差。UNHT型超纳米压痕测试仪是市场上现有的最精准的纳米与超纳米尺度动态压痕测试仪器。在小尺度蠕变、软材料、生物材料、超薄膜、弛豫、弹性体等应用领域性能尤为突出。

图 纳米压痕仪

7）EVO MA 25扫描电子显微镜

仪器简介：EVO MA 25扫描电镜是针对于半导体行业所推出的能够适合处理大而高样品的最佳电镜方案。EVO MA 25超大样品室可轻松容纳超过200mm的样品，自动化的5轴样品台也可以更大范围的移动。

图 扫描电子显微镜

8）Smartzoom5超景深数码显微镜 

仪器简介：蔡司公司面向全球最新发布一款智能3D数码显微镜Smartzoom5，这是一款为工业质量控制领域及高端研究方向的客户提供的一项全新解决方案。可对样品进行三维成像，数码变倍及光学变焦、让数码显微镜实现了无极连续变倍，并可快速便携地对样品进行二维、三维的观察和测量。

图 科研级超景深显微镜

 

 

9）残余应力分析仪

仪器简介：本仪器是一种先进的X射线应力分析仪，测量原理是基于X射线衍射理论。它主要用于测量构件在制造过程中残留在构件内来自各种工艺等因素的作用与影响（残余应力）。

图 残余应力分析仪

10）激光干涉仪

仪器简介：高强度、高度方向性、空间同调性、窄带宽和高度单色性等优点。是目前常用来测量长度的干涉仪，以稳频氦氖激光为光源，构成一个具有干涉作用的测量系统。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作，并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。

图 激光干涉仪

11）超声扫描显微镜SM300E

设备简介：SAM 300E专用于高吞吐量环境。声学调查由高达 400 MHz 的新射频和传感器技术驱动。图形用户界面专为易于使用、过程控制和自动化数据分析而设计。以行业标准为核心平台，利用最新的生产和研究技术，其超声频率范围高达500 MHz，传感器范围为5MHz至400 MHz。

图 SM300E超声扫描显微镜

12）KUNZ STRAIGHT-LINE超精密直线度检测仪

设备简介：KUNZ STRAIGHT-LINE超精密行位尺寸检测仪是在车间和实验室可以保证外部环境的条件下的超精密检测设备，其特殊之处在于Kunz precision AG开发的特殊真空空气轴承。将直线测量滑块通过负压拉到导轨上，然后用空气轴承再次抬起。这会产生非常恒定和稳定的预紧力。该设备的应用范围很广：校准和检查测试测量设备；对准和控制/记录直线导轨或直线轴的直线度和平行度；测量工件和组件上的直线度、平行度和扭转度；在夹紧装置和换板机上对准工件等。软件方面可选配电动和位置测量系统，静态或动态记录和评估测量值，并且有专门开发、经过验证和现场测试的软件解决方案。其优点在于：高精度、无磨损的测量滑块储气装置；高空气轴承稳定性和刚性；可以重复多次试验，测量方便可靠；空气轴承噪音小；带有可选择的多功能测量选项，可使用较多附件。

图 超精密直线度检测仪

13）WYLER超精密水平仪

设备简介：新型Blue LEVEL蓝牙电容式电子水平仪适用于小角度测量、合不同测量软件可完成平面度的测量，也可满足机床部分几何误差的测量。主要应用领域：被测物体调平；直线度、平面度、平行度、平面度、垂直度、俯仰和翻滚参数测量等。主要特点：LCD显示屏，转动手柄可两侧读数，无线蓝牙传输，可自校准零位且调节精确，基准选择范围大，可配wylerSPEC、wylerPROFESSIONAL、wylerELEMENTS，输出端口RS-485。

图 超精密直线度检测仪